Вакуумное оборудование для нанесения пленок
Минайчев Виктор Егорович
Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудования.
Ano:
1978
Editora:
Машиностроение
Idioma:
russian
Páginas:
30
Arquivo:
DJVU, 877 KB
IPFS:
,
russian, 1978
Litres
Quer adicionar a sua livraria? Entre em contato conosco em support@z-lib.do
Converter ficheiros 
Mais resultados de pesquisa
Outros benefícios 
